衡阳变压器厂

　　比较了蛇型结构、圆形螺旋型结构和正方螺旋型结构三种色谱分离柱在相同条件下的分离性能，得出的结论是：不论是在恒温分离过程中还是程序温度控制分离过程中，蛇型分离柱具有更小的色谱分离峰线宽、更尖锐的谱峰、更高的理论热塔板数、分辨率******。因此，蛇型结构成为今后制作MEMS微型色谱柱的首要选择。通过硅硅键合制作色谱分离柱的思路，制作了圆形截面的蛇型结构分离柱，其同样在两片相同的硅基底上通过各向同性湿法腐蚀工艺制作半圆形截面的蛇型沟槽，然后在200℃的条件下，经过对准标记对准，以二－苯并环丁烯作为中间层进行硅片的粘结键合密封形成分离柱。该分离柱结合后端探测器，应用在危险化学品（TNT，GB，VX）的微量分析领域。